甩干机系列
单(多)晶硅片切割线辅助设备系列
太阳能电池片线辅助设备系列
全自动升降式碳板输送线
组件辅助设备系列
其他辅助设备
金属表面处理
      镀锌
      镀彩锌
      镀铬
      发黑
光栅炉(电池片衰减箱)
石墨舟承载车
 
联系信息
 
全自动硅片旋转冲洗甩干机
发布时间:2012-2-27 10:12:22
   硅片旋转冲洗甩干机用于清洗太阳能硅片和半导体硅片,是湿法清洗工艺的主要设备,目前主要机型由四工位,六工位和八工位系列。主要工作过程为:喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干:



【结构特点】
1、整个甩干过程一般只需要5-6分钟;
2、设备的外露面为进口的PP板,外形美观,耐酸气腐蚀;
3、工作腔,旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并且表面电化学抛光处理;
4、旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性;
5、采用特种减震器,精密减震和阻尼,保证系统的稳定;
6、采用洁净化处理技术,阀门,接头和管道采用不锈钢,PEA高纯管件和聚四氟;
7、采用油压缸自动开门关门,平稳安全可靠;
8、采用油浴炉或气体加热器加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有双重安全保护;
9、特制喷头和气液流体控制系统,全自动切换;
10、顶盖采用电加热板辅助加热,保证顶盖烘干后不滴水;
11、工作腔采用静电控制。



【电气控制】
1、采用PLC可编程控制器和触屏控制,整个过程智能化;
2、程序设计可靠,速度调节,温度调节和时间调节等都可以在触摸屏上设定,修改和保存;
3、采用变频技术控制转速,加减速平稳,清洁和甩干速度按工艺要求设定,并实时显示在液晶屏上;
4、采用电子制动,制动时间控制在15秒内;
5、控制软件具有故障实时显示和报警功能;
6、采用了工作过程状态监控,门位置状态监控与互锁,氮气加热温度实时监控,紧急停止按钮等安全措施。

【技术参数】


型号

半导体行业

太阳能行业

FJ455

FJ655

FJ855

工作腔数量

4

6

8

硅片规格

2.5“、3”、4“、5”、6“

125,156

125,156

旋转速度

0-1000

0-900

0-900

氮气压力

0.3

去离子水压力

0.3

电阻率监控

可选

可选

氮气密封

空/氮气烘干

氮气加热方式

热传导

热传导

油浴炉温度

30-120℃ PID控温

30-120℃ PID控温

辅助加热系统

腔体电化抛光

电机驱动

变速调频

变速调频

控制系统

PLC可编程控制器

控制显示器

液晶触摸屏

外形尺寸(长*宽*高)

1040*1100*900

1250*1300*980

1250*1300*980

电源功率

5

6

6

电压/频率

AC380 50HZ (三相四线)

 
关于我们 | 产品展示 | 人才招聘 | 在线留言 | 联系我们
无锡机械制造有限公司主要产品有硅片甩干机、全自动清洗甩干机、全自动硅片预清洗脱胶机、砂浆搅拌桶、硅片脱胶机等