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石墨舟承载车
 
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石墨舟承载车
发布时间:2012-3-19 11:49:58
本设备可分为I型和II型。见图片。
石墨舟承载车I型
石墨舟承载车II型


【主要特点】
1.能准确的把石墨舟从PECVD中取出来。
2.能平稳的把石墨舟在小车上旋转180度,倾斜翻转, 确保简易方便的装硅片。
3.承载装片车能够与PECVD准确的定位。

【技术参数】
1.采用不锈钢和铝型材,表面进行电抛光或喷砂氧化处理。
2.采用可调式油压缓冲器,减少冲击,定位平稳。
 
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无锡机械制造有限公司主要产品有硅片甩干机、全自动清洗甩干机、全自动硅片预清洗脱胶机、砂浆搅拌桶、硅片脱胶机等